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微机电制程技术制造应用

作者:admin 来源:未知 时间:2021-04-17 02:24:57 点击:

[文章前言]:MEMS工艺技术制造应用-芯片工艺检验金相试样切割机使用MEMS工艺技术制造用于水下环境的水下声音微型传感器。传感器的主要结构是采用MEMS工艺中的表面处理技术制成的传感膜。并在薄

MEMS工艺技术制造应用-芯片工艺检验金相试样切割机

使用MEMS工艺技术制造用于水下环境的水下声音微型传感器。

传感器的主要结构是采用MEMS工艺中的表面处理技术制成的传感膜。

并在薄膜的感应表面上铺展适当的压阻材料。其工作原理是利用结构本身的固有频率特性,

当接收到接近结构固有振动频率的特定频率声波时,传感器输出信号将产生更高的信噪比。

使用它来接收声波传输的信号内容。工艺计划中有两种工艺,一种是基于SOI芯片,另一种是基于六进Ч栊酒

。区别在于悬浮膜的方法。SOI芯片工艺是将其浸入氢氟酸中以蚀刻牺牲层以使薄膜悬浮。

六眼嫉妒的Ч柚瞥见,陶微,送上帽子,车笫纯净的滴滴贡品ば漂浮。在SOI芯片制造过程中,由于浸入氢氟酸中时发生的电化学反应会破坏压阻。

单晶硅芯片的制造工艺受到背面蚀刻深度的精确控制,以蚀刻适当厚度的感应膜。

成功完成了传感器的制造过程。完成后,将传感器包装起来以生产适合水下使用的传感器。

最后,通过各种声学实验设备讨论声学传感器的特性

在空气和水中进行测试时,传感器成功测量了声音信号,并且该信号符合趋势,即传感器的共振频率越近,频率响应越好。

并测量传感器薄膜的固有频率。

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